Производство полупроводников предъявляет очень строгие требования к чистоте воздуха и контролю частиц. В ключевых процессах, таких как производство пластин, фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, частицы в воздухе могут прилипать к поверхности пластины, вызывая дефекты и влияя на выход продукта и стабильность производства.
Поэтому фильтры HEPA и ULPA являются важными компонентами полупроводниковых систем очистки воздуха для чистых помещений. Но чем выше уровень фильтра, тем лучше. Инженерам и покупателям необходимо сделать комплексный выбор на основе класса чистых помещений, технологических требований, объема воздуха, сопротивления, метода уплотнения, размера фильтра и стандартов испытаний.
1. Почему в чистых полупроводниковых помещениях необходима высокоэффективная фильтрация воздуха?
Основные загрязнители воздуха при производстве полупроводников включают:
Мелкие частицы в воздухе
Металлические частицы
Волокна и взвешенные частицы
Частицы, образующиеся в процессе
Некоторые химические вещества загрязняющие вещества
После того, как эти загрязняющие вещества попадают в критическую зону процесса, они могут осаждаться на поверхности пластины или влиять на производственный процесс. Поэтому в чистых помещениях необходимо постоянно контролировать концентрацию твердых частиц в воздухе с помощью разумных систем фильтрации воздуха.
Фильтры HEPA или ULPA обычно устанавливаются в AHU, FFU или терминальных системах подачи воздуха чистых помещений и вместе с фильтрами первичной и средней эффективности и системами организации воздушного потока образуют полноценную систему очистки воздуха.
2. H13, H14 или ULPA? Как выбрать?
Не во всех зонах чистых помещений для производства полупроводников необходимо использовать фильтры высочайшего качества. Фактический выбор должен определяться на основе класса чистого помещения, производственного процесса, требований к контролю частиц и технических спецификаций проекта.
| Требования к применению | Общие варианты | Основные соображения |
|---|---|---|
| Общие чистые зоны | H13 | Эффективность фильтрации, баланс объема воздуха и эксплуатационных расходов |
| Повышенная чистота области | H14 | Высокие требования к контролю частиц |
| Основные области полупроводниковых процессов | H14 / ULPA | Определено на основе требований к процессу и чистоте |
| Очень высокие требования к чистоте | ULPA | Имеет больше строгие требования к концентрации ультрамелких частиц в воздухе |
Следует отметить, что HEPA или ULPA нельзя выбирать исключительно по эффективности фильтрации. Уровни фильтрации также должны соответствовать стандартам проектирования чистых помещений, технологическим требованиям и возможностям системы HVAC.
3. На какие параметры следует обратить внимание при выборе полупроводникового HEPA-фильтра?
1. Эффективность фильтрации
H13, H14 и ULPA имеют разные фильтрационные свойства. Инженерам сначала необходимо определить необходимый уровень фильтрации в зависимости от требований проекта.
При покупке не смотрите только на класс «H13, H14 или ULPA». Вам также следует попросить поставщика предоставить соответствующие стандарты испытаний, данные об эффективности фильтрации и необходимые отчеты об испытаниях отдельных устройств.
2. Номинальный объем воздуха и начальное сопротивление
Несмотря на эффективность фильтрации, фильтр также должен обеспечивать объем воздуха, необходимый для проекта.
Если начальное сопротивление фильтра слишком велико, это увеличит нагрузку на вентилятор и потребление энергии системой HVAC. Поэтому при выборе проектов необходимо учитывать комплексные факторы:
Номинальный объем воздуха
Начальное сопротивление
Конечное сопротивление
Статическое давление вентилятора
Потребление энергии при эксплуатации
Для длительной эксплуатации полупроводниковой очистки помещения, эффективность фильтрации и потери давления должны оцениваться одновременно, а цены на покупку фильтров нельзя просто сравнивать.
3. Размер фильтра и метод установки
В чистых полупроводниковых помещениях обычно предъявляются строгие требования к установочному размеру конечного фильтра. Фильтры должны соответствовать FFU, потолку чистого помещения, AHU или оконечному фильтрующему блоку.
Перед покупкой подтвердите:
Длину и ширину
Толщину фильтра
Номинальный объем воздуха
Направление установки
Материал рамы
Метод уплотнения
Подключение метод с FFU или клеммной коробкой
Несоответствие размеров или неправильный монтаж и герметизация, даже если сам фильтр достигает уровня H14, могут повлиять на конечный эффект фильтрации.
4. Фильтрующие материалы и материалы каркаса
В высокоэффективных фильтрах обычно используются высокоэффективные фильтрующие материалы из стекловолокна, но в условиях производства полупроводников могут предъявляться более высокие требования к стабильности и совместимости материалов.
В зависимости от фактической среды применения требуется подтверждение:
Прочность фильтра
Материал рамы
Адгезионные свойства
Диапазон адаптации к температуре и влажности
Химическая среда совместимость
Механическая прочность при транспортировке и монтаже
Если фильтр устанавливается в помещении, где присутствуют химические газы или агрессивные среды, химическая стойкость материала также должна быть подтверждена заранее.
5. Герметизация и контроль утечек
Для чистых полупроводниковых помещений герметичность фильтра так же важна, как и эффективность фильтрации.
Потенциальные утечки могут быть связаны с:
Материалом фильтра
Соединением рамы
Уплотнительной прокладкой
Гелевым уплотнением
Интерфейсом между фильтром и установочной коробкой
Для критических технологических зон, утечка Требования к обнаружению и опечатыванию должны быть указаны в технических требованиях к закупкам. При необходимости поставщика можно попросить предоставить одиночное сканирование на обнаружение утечек и отчет об испытаниях.
4. Какие параметры необходимо подтвердить при покупке полупроводниковых HEPA-фильтров?
Перед формальным запросом и размещением заказа инженерам и покупателям рекомендуется подтвердить с поставщиками следующие параметры:
Класс фильтра: H13, H14 или ULPA
Применимый тест стандарты
Номинальный объем воздуха
Начальное сопротивление
Конечное сопротивление
Размер фильтра
Материал корпуса
Тип материала фильтра
Метод уплотнения
Обнаружение утечек требования
Требования к отчету об испытаниях отдельного устройства
Требования к характеристикам химической стойкости
Рабочая температура и влажность
Класс чистоты помещения
Метод установки
Количество покупки и требования к последующей замене
Четкое предварительное уточнение этих параметров может снизить необходимость для поставщиков неоднократно подтверждать технические характеристики, а также помочь получить более точные расценки.
5. Как выбрать HEPA-фильтры для чистых полупроводниковых помещений?
Фактический проект может быть реализован в соответствии со следующим процессом:
Шаг 1: Определите класс чистого помещения
Определите требования к чистым помещениям по концентрации твердых частиц в воздухе и стандарты чистых помещений, принятые в проекте.
Шаг 2. Определите производственный процесс
Проанализируйте риски загрязнения и требования к чистоте различных технологических участков, таких как фотолитография, травление и осаждение.
Шаг 3. Определите уровень фильтрации
Выберите H13, H14 или ULPA в соответствии с фактическими требованиями, а не просто стремитесь к максимальной эффективности фильтрации.
Шаг 4. Подтвердите объем и сопротивление воздуха
Проверьте, соответствуют ли номинальный объем воздуха и потеря давления фильтра конструктивным параметрам FFU или AHU.
Шаг 5. Подтвердите размер и герметичность
Убедитесь, что размер фильтра, рамка, прокладка или метод гелевого уплотнения соответствуют системе установки.
Шаг 6. Подтвердите тестирование и документацию
Определите требования к документам, такие как тест эффективности фильтрации, сканирование обнаружения утечек и отчет об испытаниях отдельного устройства в соответствии с требованиями проекта.
Шаг 7. Оцените долгосрочные эксплуатационные расходы
Помимо покупной цены следует также учитывать потерю давления, энергопотребление вентилятора, срок службы фильтра и последующую замену и затраты на техническое обслуживание.
6. Фильтры нельзя выбирать отдельно от всей системы отопления, вентиляции и кондиционирования чистого помещения
Конечная чистота воздуха в полупроводниковой чистой комнате зависит не только от фильтров HEPA или ULPA.
Полная система очистки воздуха обычно включает в себя:
Первичный фильтр
Средний фильтр
Концевой фильтр HEPA/ULPA
FFU или AHU
Система подачи и возврата воздуха для чистых помещений
Организация притока воздуха
Регулирование перепада давления в помещении
Установка фильтрующего уплотнения
Контроль работы и обслуживание
Поэтому просто модернизировать H13 до H14, или Обновление H14 до ULPA не означает, что производительность всей системы чистых помещений обязательно улучшится.
Правильный инженерный проект должен соответствовать уровням фильтрации, объему воздуха, сопротивлению, организации воздушного потока и оборудованию HVAC.
7. Решение для фильтрации воздуха в чистых помещениях Boyang Semiconductor
Jiangsu Yueboyang Purification Equipment Co., Ltd. специализируется на продуктах для фильтрации и очистки воздуха в чистых помещениях и может поставлять HEPA, ULPA и другие высокоэффективные продукты для фильтрации воздуха для полупроводниковой, электронной, фармацевтической и других отраслей промышленности. другие отрасли.
В зависимости от требований проекта мы можем помочь в подтверждении эффективности фильтрации, размера фильтра, материала рамы, метода уплотнения, номинального объема воздуха и требований к испытаниям, а также подобрать продукцию в соответствии с параметрами чистой комнаты клиента и системы HVAC.
Если вы покупаете фильтры HEPA или ULPA для чистых полупроводниковых помещений, можно указать степень фильтрации, размер, объем воздуха, начальное сопротивление и требования к испытаниям. Команда инженеров предоставит соответствующие конфигурации продукта и расценки на основе параметров проекта.
