В электронной промышленности предъявляются высокие требования к чистоте воздуха в производственной среде, особенно в процессе производства полупроводников, панелей дисплеев, прецизионных электронных компонентов и новых энергетических электронных продуктов. Крошечные частицы могут прилипать к поверхности продукта, влияя на его характеристики, выход и надежность. Таким образом, научное проектирование системы фильтрации воздуха и создание комплексных мер по контролю частиц являются важными звеньями в цехе без пыли при производстве электронной продукции.
1. Почему электронному производству необходимо строго контролировать частицы воздуха?
В процессе производства электронных компонентов пыль, волокна, металлические частицы и другие частицы в воздухе могут стать источниками загрязнения. Хотя некоторые крошечные частицы невидимы невооруженным глазом, они могут осаждаться на поверхности пластин, печатных плат, панелей дисплеев или прецизионных компонентов.
Если контроль частиц не установлен, это может привести к дефектам цепи, загрязнению продукта, коротким замыканиям или снижению производительности. Таким образом, в цехах, где нет пыли, необходимо снизить загрязнение частицами за счет таких мер, как фильтрация воздуха, организация воздушного потока, контроль разницы давления и управление персоналом.
2. Базовая структура беспыльной системы фильтрации воздуха в мастерских
В цехах без пыли в электронном производстве обычно применяется многоступенчатая структура фильтрации воздуха:
Свежий воздух → Первичный фильтр → Среднеэффективный/рукавный фильтр → Оборудование для очистки воздуха → Высокоэффективный или концевой фильтр ULPA → Чистая производственная зона.
Первичный фильтр в основном задерживает более крупную пыль, волокна и другие частицы для защиты последующего фильтрующего оборудования.
Среднеэффективные или рукавные фильтры имеют большую площадь фильтрации и пылеулавливающую способность, что позволяет дополнительно снизить концентрацию твердых частиц в воздухе, одновременно снижая нагрузку на высокоэффективный фильтр.
Фильтры HEPA или ULPA обычно устанавливаются в конце чистой зоны для эффективной фильтрации мелких частиц и являются важной частью поддержания чистоты в мастерской без пыли.
3. Важность организации воздушного потока для контроля частиц
Установка только высокоэффективных фильтров не гарантирует, что в цехе без пыли будет достигнут идеальный эффект контроля частиц. Не менее важна правильная организация воздушного потока.
Для помещений с высокой чистотой можно использовать односторонний поток или другие методы организации воздушного потока, подходящие для процесса, чтобы чистый воздух, фильтруемый в конце, мог непрерывно заменять загрязненный воздух и уменьшать пребывание и осаждение частиц в производственной зоне.
В то же время положения приточных, возвратных и вытяжных вентиляционных отверстий должны быть разумно спроектированы так, чтобы избежать локальных коротких замыканий воздушного потока, мертвых углов или турбулентности.
IV. Фильтрационные решения для различных помещений
1. Общая зона сборки электронного оборудования
Можно использовать первичную фильтрацию + фильтрацию средней эффективности, а концевые HEPA-фильтры можно настроить в соответствии с требованиями к чистоте.
2. Участок производства прецизионной электроники
Для производственных помещений, чувствительных к загрязнению твердыми частицами, следует усилить конечную фильтрацию и организацию воздушного потока. Фильтры HEPA можно использовать в сочетании с системой FFU для обеспечения более стабильной подачи чистого воздуха.
3. Полупроводники и зоны высокой чистоты
Для производственных процессов, таких как производство пластин и чипов, которые чрезвычайно чувствительны к частицам, фильтры HEPA или ULPA следует выбирать в соответствии с целевым уровнем чистоты и сочетать с высоким временем воздухообмена, однонаправленным потоком и строгим контролем перепада давления для комплексного проектирования.
5. На какие параметры следует обратить внимание при выборе воздушного фильтра?
При выборе фильтров для беспылевых цехов электронного производства следует ориентироваться на следующие параметры:
Эффективность фильтрации: определяется в соответствии с целевым уровнем чистоты и требованиями контроля частиц;
Номинальный объем воздуха: соответствует расчетному объему воздуха чистого помещения;
Начальное сопротивление и конечное сопротивление: влияют на энергопотребление вентилятора и работу системы стабильность;
Характеристики материала фильтра: должны иметь стабильную эффективность фильтрации и структурную прочность;
Размер фильтра: обеспечить соответствие с FFU, воздуховодом или оконечным оборудованием подачи воздуха;
Эффективность уплотнения: избегать байпасных утечек на краю установки фильтра;
Срок службы: определите цикл замены на основе изменений разницы давления и фактической рабочей среды.
Для производственных помещений с высокой чистотой важна производительность самого фильтра, но нельзя игнорировать корпус фильтра, структуру уплотнения и качество установки.
6. Резюме
Фильтрация воздуха и контроль частиц в беспыльных цехах электронного производства — это системный проект. Разумным решением обычно является не просто улучшение уровня фильтрации, а достижение стабильного контроля частиц за счет фильтрации первичной эффективности, фильтрации средней эффективности, конечной фильтрации HEPA/ULPA, организации воздушного потока, контроля перепада давления и управления чистотой.
В реальных проектах целевое проектирование должно осуществляться с учетом типа электронной продукции, производственного процесса, уровня чистоты и требований к объему воздуха. При соблюдении требований чистоты следует учитывать энергопотребление системы, срок службы фильтров и затраты на техническое обслуживание, чтобы обеспечить стабильную и надежную чистую производственную среду для производства электроники.
Jiangsu Yueboyang Purification Equipment Co., Ltd. специализируется на исследованиях и разработках, производстве и продаже продуктов, обеспечивающих очистку. Она может поставлять фильтры первичной, средней, высокой и сверхвысокой эффективности, вентиляторные фильтрующие блоки FFU, высокоэффективные воздуховыпускные устройства и другие продукты, поддерживающие продукцию для чистых производственных сред, таких как производство электроники и полупроводников. Компания имеет систему продуктов, от фильтров до терминального оборудования для подачи чистого воздуха, которую можно выбрать и настроить в соответствии с уровнем чистоты клиента, объемом воздуха, размером установки и конкретными технологическими требованиями, обеспечивая профессиональную поддержку продуктов для фильтрации воздуха и контроля частиц в цехах электронного производства, где нет пыли.
